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GaAs MIM Capacitor Behavior

Question asked by June-Yi Employee on Jan 13, 2020

       在半导体制程上,MIM (Metal-Insulator-Metal)是常见的电容形成方式,如下图MIM电容具备较叉指电容更高的电容密度。此篇报告使用ADS内建的demo kit进行在GaAs工艺上的EM建议设置与电容电性行为的探讨。 在常见的电容电性行为上,利用理论基础与容易理解的等效电路进行分析,让我们可以更清楚理解工作上所测得数据的物理意义。

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